聚焦离子束

　　项目概况

　　厦门大学化学化工学院聚焦离子束扫描电子显微镜 招标项目的潜在投标人应在网页免费下载：https://ztbzx.xmu.edu.cn/info/1172/23883.htm获取招标文件，并于2023年12月20日 09点00分（北京时间）前递交投标文件。

　　一、项目基本情况

　　项目编号：XDZB2023-A-018

　　项目名称：厦门大学化学化工学院聚焦离子束扫描电子显微镜

　　预算金额

近日，东北大学本级发布《东北大学本级聚焦离子束扫描电镜（进口）公开招标公告》，预计花费6000000.00元采购聚焦离子束扫描电镜（进口）。详细信息如下：

　　一、项目基本情况

　　项目编号：DDZK202303

　　项目名称：聚焦离子束扫描电镜（进口）

　　预算金额：600.0000000 万元（人民币）

　　采购需求：

　　1.可实现材料微观形貌成像，其中电子束分辨率： 0.6nm @15KV, 1.0nm

FIB介绍聚焦离子束技术（Focused Ion beam，FIB）是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的离子束轰击材料表面，实现材料的剥离、沉积、注入、切割和改性。随着纳米科技的发展，纳米尺度制造业发展迅速，而纳米加工就是纳米制造业的核心部分，纳米加工的代表性方法就是聚焦离子束。近年来发展起来的聚焦离子束技术（FIB）利用高强度聚焦离子束对材料进行纳米加工，配合扫描电镜（SEM）等高倍数电子显微镜

聚焦离子束技术（Focused Ion beam，FIB）是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的离子束轰击材料表面，实现材料的剥离、沉积、注入、切割和改性。随着纳米科技的发展，纳米尺度制造业发展迅速，而纳米加工就是纳米制造业的核心部分，纳米加工的代表性方法就是聚焦离子束。近年来发展起来的聚焦离子束技术（FIB）利用高强度聚焦离子束对材料进行纳米加工，配合扫描电镜（SEM）等高倍数电子显微镜实时

将离子束按质荷比进行分离的装置。它的结构有单聚焦、双聚焦、四极矩、飞行时间和摆线等。质量分析器的作用是将离子源中形成的离子按质荷比的大小不同分开，质量分析器可分为静态分析器和动态分析器两类。

将离子束按质荷比进行分离的装置。它的结构有单聚焦、双聚焦、四极矩、飞行时间和摆线等。质量分析器的作用是将离子源中形成的离子按质荷比的大小不同分开，质量分析器可分为静态分析器和动态分析器两类。