氦检本底

     选择示漏气体(示踪气体）的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全隐患；价格低。

     质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体，主要原因如下：

1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极少（在空气中约含5.2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输

 1.吸枪法检漏方法

吸枪法检漏，又叫正压法检漏，是氦质谱检漏仪的常用检漏方法。吸枪通过细长管道与氦质谱检漏仪相连，被检件充入压力高于环境大气压力的氦气（或氦与氮混合或氦与大气混合气体），吸枪的吸嘴在被检件可疑有漏孔的表面以一定速度移动，通过漏孔漏出的气体的一部分进入吸嘴，随之进入检漏仪质谱室，得出泄漏率。与负压法类似，检漏仪指示有漏时，漏孔不一定正好在吸嘴所对的被检件的部位，在发现漏孔的范

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氦质谱真空检漏常用的基本方法是喷吹法和氦罩法