日立扫描电镜

　日立扫描电镜一种新型的电子光学仪器。日立扫描电镜具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。数十年来，扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。

　　由于高能电子束与样品物质的交互作用，结果产生了各种信息：二次电子、背反射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子、阴极发光和透射电子等。这些信号被相应的接收器接收，经放大后送到显像管的栅极上，调制

 日立扫描电镜被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等，对于导电材料，可直接放入样品室进行分析，对于导电性差或绝缘的样品则需要喷镀导电层。

电子光学系统包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈、样品室等，主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。

　　日立扫描电镜的工作原理是由电子枪发射出来直径为50μm(微米)的电子束，在加速电压的作用下经过磁透镜系统会聚，形成直径为5nm(纳米)的电子束，聚焦在样品表面上，在第二聚光镜和物镜之间偏转线圈的作用下，电子束在样品上做光栅状扫描，同时同步探测入射电子和研究对象相互作用后从样品表面散射出来的电子和光子，获得相应材料的表面形貌和成分分析。

　　从材料表面散射出来的二次电子的能量一般低于50

　　2011年7月9日，天美公司受邀参加“福建省电镜学会2011学术讨论会”，此次会议由福建省电镜学会主办，华侨大学材料学院承办，在福建省泉州市华侨大学举行，参会人员达60多人，均为闽赣两省从事电子显微镜和激光扫描共聚焦显微技术等工作的大专院校、科研院所、医院和企业的教师、研究人员、医师、工程技术人员，以及相关厂商代表。此次会议为电镜工作者同行聚集提供了一个很好的交流平台，会上分享了近年来扫描电镜、

在扫描电镜的设计中，电镜的灯丝就好比汽车的发动机，汽车发动机的类型决定着汽车的排量，扭矩，加速时间等，同样，扫描电镜所用的灯丝也决定着电镜图片的分辨率，成像衬度及信噪比。选定了汽车的发动机就需要选择与之相匹配的底盘，车架，变速器。而对扫描电镜来说，选定了扫描电镜所使用的灯丝，就需要选择与之相匹配的真空系统，电子光学系统及成像系统。

飞纳台式扫描电镜是台式 SEM 中唯一选用六硼化铈 (Ce