XRF X射线荧光光谱仪
XRF,可以快速同时对多元素进行测定的仪器。在X射线激发下,被测元素原子的内层电子发生能级跃迁而发出次级X射线(X-荧光)。从不同的角度来观察描述X射线,可将XRF分为能量散射型X射线荧光光谱仪,缩写为EDXRF或EDX和波长散射型X射线荧光光谱仪,可缩写为WDXRF或WDX,但市面上用的较多的为EDX。WDX用晶体分光而后由探测器接收经过衍射的特征X射线信号。
EDS能谱仪,是一种分析物质元素的仪器,常与扫描电镜或者透射电镜联用,在真空室下用电子束轰击样品表面,激发物质发射出特征x射线。
根据特征x射线的波长,定性与半定量分析元素周期表中B-U的元素,EDS可提供样品表面之微区定性或半定量之成份元素分析,以及特定区域之point、linescan、mapping分析。
主要用于元素的定性分析;
能谱仪能够分析原子序数大于5的元素,波谱仪可以分析原子序数从4~92
SEM TEM 都是主要用来分析形貌。他两相比较TEM的分辨率要高于SEM。TEM给出的是一个平面图,可以告诉你样品的形貌特这,尤其是孔材料用TEM分析最好。SEM是分析表面形貌结构的,给出的是立体图,对观察棒状,球状,等等材料材料有很好的视觉效果。EDS是分析成分的,一般是配套于TEM仪器上。它分析的是样品表面面某个小的部分的元素组成,不能代表样品整体组成。