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AFM微纳加工技术

 微纳加工技术

随着器件小型化和高集成度的快速发展,微电子工业的芯片制造工艺逐渐向10 nm 甚至单纳米尺度逼近时,传统的电子束曝光(electron beam lithography,EBL)技术和极紫外光刻(extreme ultraviolet lithography,EUV)技术已难以满足未来技术的发展需求,亟需发展一种能在纳米尺度实现高分辨率、高稳定度、高重复性和大吞吐量且价格适宜

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“颗粒粒径分析方法”汇总大全

一、相关概念: 1、粒度与粒径:颗粒的大小称为粒度,一般颗粒的大小又以直径表示,故也称为粒径。 2、粒度分布:用一定方法反映出一系列不同粒径区间颗粒分别占试样总量的百分比称为粒度分布。 3、等效粒径:由于实际颗粒的形状通常为非球形的,难以直接用直径表示其大小,因此在颗粒粒度测试领域,对非球形颗粒,通常以等效粒径(一般简称粒径)来表征颗粒的粒径。等效粒径是指当一个颗

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扫描电镜技术及其在碳材料表征中的应用

摘要:电子显微技术是材料表征的重要技术手段之一,其中扫描电子显微镜(简称SEM)由于具有应用范围广、样品制备简单、图像景深大等优点,因而在碳材料表征中发挥着越来越重要的作用。本文在介绍扫描电镜的结构、工作原理及样品制备的基础上,简要概述了扫描电镜在材料表征中的应用,并以碳纳米管为例对图谱进行了分析。

二十世纪60年代以来,出现了扫描电子显微镜(SEM)技术,这样使人类观察微小物质的能力发生质的飞跃依靠

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